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該儀器設(shè)計(jì)原理是利用了軟X射線的透射吸收特性,通過傳感器測(cè)量透過介質(zhì)的射線衰
減度,按一定算法轉(zhuǎn)換為薄膜和板材的厚度數(shù)值,測(cè)量精度與用戶提供的樣片有關(guān)系,最高平均值精
度可精確到0.1UM,是一種薄膜在線厚度檢測(cè)儀器的高科技產(chǎn)品。
為確保儀器的精度,必須保證有三大要素
1.儀器機(jī)械結(jié)構(gòu)的加工精度
2.信號(hào)的采集處理精度
3. 優(yōu)秀的軟件算法和準(zhǔn)確的采樣
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