如何選擇裝飾和工具鍍膜設(shè)備中的真空系統(tǒng)
一套成熟的真空系統(tǒng)在鍍膜設(shè)備中扮演重要角色. 需要從鍍膜質(zhì)量, 生產(chǎn)安全和成本三個方面考量. 上海伯東德國 Pfeiffer 通過推薦合適的真空系統(tǒng)實現(xiàn)鍍膜工藝過程中降本增效的作用.
理解鍍膜工藝過程, 選擇合適的真空系統(tǒng), 提高鍍膜質(zhì)量
影響鍍膜系統(tǒng)真空選型的因素
腔體尺寸: 腔體尺寸直接關(guān)系到真空泵的尺寸, 在相同的抽空時間的要求下, 越大的腔體需要配越大的泵, 也就是越大抽速的真空泵
循環(huán)時間(節(jié)拍): 循環(huán)時間我們又稱之為節(jié)拍, 通常定義為在單位時間內(nèi)的產(chǎn)出批次; 直接影響著鍍膜設(shè)備的盈利能力; 所以說節(jié)拍也關(guān)系到泵尺寸大小的一個選擇
壓力: 需要達到什么樣的目標(biāo)真空度？壓力決定著是選擇單級泵, 多級泵以及是否需要配置分子泵; 此外還需要考慮某些氣體, 在特定壓力下對真空設(shè)備的影響; 更多的是在比較高的壓力下的一些影響
工藝氣體: 需要了解, 離開腔體及抽氣管路的具體物質(zhì)和它的物質(zhì)的量;  真空設(shè)備必須和對應(yīng)的氣體種類和數(shù)量相匹配;  而且, 真空系統(tǒng)必須對有害物質(zhì)具有防護的能力
溫度: 在工具鍍膜的應(yīng)用中, 常常處于高溫的條件下, 因此是否需要冷卻, 以及所有安裝的組件 - 不僅僅是真空系統(tǒng), 是否需要冷卻, 都是需要考慮的方面
放氣: 腔體的內(nèi)表面積越大, 包括腔體的自身的表面積和腔體內(nèi)部的機械或者電子零部件的表面積以及這些表面的潔凈程度; 都對應(yīng)了他放氣量的一個數(shù)值;  因此如果有大量放氣的情況產(chǎn)生, 在選擇真空系統(tǒng)的時候, 就必須要考慮到這一點
可能的真空抽氣方案: 單級泵, 多級泵, 高真空度下配分子泵
高壓力和低氣載, 一般選單級泵 (油泵, 干泵).
低壓力和高氣載, 一般選多級羅茨泵組, 工具鍍膜典型配置 Duo 65M OKTA 500M 真空泵組
因 PVD 工藝壓力 <1E-3mbar, 選擇分子泵

如何選擇合適的前級泵: 在您的應(yīng)用場景中最重要的要求是？

如何選擇合適的泵組: 先確認泵組需要實現(xiàn)的功能, 比如快速抽空, 在工藝壓力下連續(xù)抽氣
根據(jù)抽速, 目標(biāo)時間, 目標(biāo)壓力來選擇合適的型號, 并考慮由于管路流導(dǎo)損失和配件的影響, 抽速的損失在設(shè)計中也必須要考慮到.
如何選擇合適的分子泵: 根據(jù)實際需要
更快的啟動時間, 可以直接啟動？還是免維護？ 
是更低的震動, 無工藝污染或者是粉塵堆積的耐受能力等等 

上海伯東德國 Pfeiffer 提供2種類型的分子泵: 復(fù)合軸承技術(shù)和磁懸浮軸承的技術(shù), 兩種不同類型的分子泵各自有不同的性能特點: 

隨著工藝粉塵在生產(chǎn)過程中的不斷累積, 需要對分子泵旋片受到的不平衡外力進行補償,  也就是在磁懸浮軸承部分施加一個補償, 方案是通過電磁控制做一個程度相對有限的一個調(diào)整.
這樣對比, 就能得出復(fù)合軸承對粉塵的耐受能力更強的結(jié)論. 
因為復(fù)合軸承技術(shù)沒有產(chǎn)生額外的磁場, 所以不受到環(huán)境的外磁場干擾

上海伯東德國 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>

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