計(jì)算全息圖 CGH 作為零位補(bǔ)償器廣泛應(yīng)用于高精度非球面的檢測(cè), 但 CGH 的基底誤差直接限制了非球面的檢測(cè)精度. 某制造商為了獲得超高精度的 CGH 基底, 采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 產(chǎn)生的離子束用于修正高精度 CGH 基底的加工工藝.

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

離子源型號(hào)	RFICP 220
Discharge	RFICP 射頻
離子束流	>800 mA
離子動(dòng)能	100-1200 V
柵極直徑	20 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	10-40 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長(zhǎng)度	30 cm
直徑	41 cm
中和器	LFN 2000

* 可選: 燈絲中和器; 可變長(zhǎng)度的增量

 

運(yùn)行結(jié)果：

1. KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 產(chǎn)生的離子束修正工藝作為一種非接觸式確定性光學(xué)加工方法, 不僅不會(huì)對(duì)元件表面施加作用力, 而且還具有加工精度高、去除函數(shù)穩(wěn)定、面形收斂速度快、無邊緣效應(yīng)和亞表面損傷等特點(diǎn), 非常適用于高精度 CGH 基底的加工.

2. 應(yīng)用離子束修正高精度 CGH 基底的加工工藝具有較大優(yōu)勢(shì), 不僅具有較高的加工效率而且可以獲得超高的加工精度

 

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

 

 

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