Atonarp 適用于半導(dǎo)體過程控制在線質(zhì)譜儀 Aston?
上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston?, 通過使用分子傳感技術(shù), 提供半導(dǎo)體制程中  ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測(cè)分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷, 為半導(dǎo)體過程控制提供解決方案, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率, 在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝工具上加裝 Aston, 可在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)晶圓更高產(chǎn)量!
Aston? 特性
實(shí)時(shí)過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝
半導(dǎo)體制造的分子分析原位平臺(tái), 提供實(shí)時(shí), 可操作的數(shù)據(jù)
采用等離子體電離源, 無(wú)燈絲, 更耐用
可與大批量生產(chǎn)工具集成
Aston? 作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺(tái), 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供更高控制水平, 包括光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.
Atonarp  Aston? 技術(shù)參數(shù)

類型	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
型號(hào)	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
質(zhì)量分離	四級(jí)桿
真空系統(tǒng)	分子泵	分子泵 隔膜泵	分子泵	分子泵 隔膜泵	分子泵	分子泵 隔膜泵
檢測(cè)器	FC /SEM
質(zhì)量范圍	2-285		2-220		2-285
分辨率	0.8?0.2
檢測(cè)限	0.1 PPM
工作溫度	15-35“℃
功率	350 W
重量	15 kg
尺寸	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp  Aston? 應(yīng)用: 半導(dǎo)體工藝過程控制和優(yōu)化的重大發(fā)展, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率
Aston? 是一款全新設(shè)計(jì)堅(jiān)固耐用的緊湊型在線質(zhì)譜儀, 適用于半導(dǎo)體制造和工業(yè)過程控制應(yīng)用中氣體監(jiān)測(cè)和控制, 高定量精度和實(shí)時(shí)性與生產(chǎn)穩(wěn)健性和可靠性相結(jié)合, 例如半導(dǎo)體 dry pump 尾氣偵測(cè)分析, 實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)控, 診斷.
CVD / ALD: 氧化物-氮化物過渡及成分分析
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: 識(shí)別跟蹤分子

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