干式真空泵 A4X 系列
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導(dǎo)體、光伏等腐蝕性強(qiáng)的行業(yè)，干式真空泵抽速?gòu)?160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求，特殊的耐腐蝕工藝設(shè)計(jì)保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高，有效降低了企業(yè)成本。
干式真空泵 A4X 系列核心優(yōu)勢(shì)：
耐腐蝕設(shè)計(jì)，使用壽命長(zhǎng)
通過(guò) Semi S2-0712 和 UL 61010 標(biāo)準(zhǔn)
特殊設(shè)計(jì)，避免真空泵發(fā)生爆裂或可冷凝物沉積
配置氮?dú)獯祾唛y，耐粉塵

干式真空泵 A4X 系列應(yīng)用：
半導(dǎo)體：（蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行業(yè)：光伏和 LED
干式真空泵 A4X 系列技術(shù)參數(shù)：

干式真空泵 A4X 系列抽速：


 

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