瑞士 INFICON  Transpector®SPS殘留氣體分析儀原裝正品

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INFICONTranspector®單壓力采樣（SPS）殘余氣體分析儀為目標高壓過程提供最佳的半晶圓和顯示面板保護。Transpector SPS可最大限度地減少晶圓和面板廢料，同時為單壓應(yīng)用提供最靈敏的漏氣和工藝污染檢測。它提供業(yè)界領(lǐng)先的檢測限和測量速度，以確保晶圓和面板輸出的質(zhì)量和數(shù)量。Transpector SPS通過為穩(wěn)定的高壓過程提供最可靠的過程監(jiān)控，最大限度地提高了工藝產(chǎn)量和產(chǎn)量。該儀器結(jié)合了簡單且經(jīng)濟高效的入口系統(tǒng)，經(jīng)過現(xiàn)場驗證的離子源和泵送組件，可提供低風(fēng)險和高回報的氣體分析解決方案。適用于一般真空和工業(yè)應(yīng)用，Transpector SPS是真空電弧重熔（VAR）等冶金和熱處理應(yīng)用的成熟解決方案。Transpector SPS是可配置的，可根據(jù)特定應(yīng)用和預(yù)算進行定制?？梢赃x擇標準孔板，毛細管和旁路管線組合，用于從1E-4 Torr到大氣的取樣過程壓力。耐腐蝕入口，離子源和泵送封裝設(shè)計用于蝕刻，CVD，ALD和其他腐蝕性氣體工藝中的生存能力。

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